مكان المنشأ:
الصين
اسم العلامة التجارية:
KACISE
إصدار الشهادات:
CE
رقم الموديل:
KGD-MQ-537
مستشعر الغاز الأشعة تحت الحمراء KGD-MQ-537 يستخدم تكنولوجيا الأشعة تحت الحمراء غير المنثرة (NDIR) لقياس الغازات بدقة بما في ذلك SiF4 و CF4 و SF6 و NF3 و CO2 في تطبيقات أشباه الموصلات.مصممة مع التوافق لأبعاد المعدات الشائعة، والشرائح، وبروتوكولات الاتصال، هذا المستشعر مثالي للكشف عن نقطة نهاية في عمليات ترسب أشباه الموصلات وتنظيف، فضلا عن الكشف عن الطرف النهائي لتنظيف الغرفة،تساعد على تقليل وقت التنظيف، خفض التكاليف، وزيادة الإنتاج.
| المعلم | تفاصيل |
|---|---|
| مبدأ الكشف | NDIR |
| الغازات المكتشفة | SiF4، CF4، SF6، NF3، CO2 |
| نطاق القياس | 1-264ppm (0-200mTorr) |
| التكرار | ± 0.5% |
| خطية | ± 1٪ F.S. |
| حد الكشف | 1ppm |
أرسل استفسارك مباشرة إلينا