مكان المنشأ:
الصين
اسم العلامة التجارية:
KACISE
إصدار الشهادات:
CE
رقم الموديل:
KGD-MQ-537
| السمة | القيمة |
|---|---|
| مبدأ الكشف | NDIR |
| الغازات المكتشفة | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| نطاق القياس | 1 - 264 جزء في المليون (0 - 200mTorr) |
| التكرار | ±0.5% |
| الخطية | ±1%F.S. |
| حد الكشف | 1 جزء في المليون |
يعتمد مستشعر غاز الأشعة تحت الحمراء KGD - MQ - 537 على تقنية الأشعة تحت الحمراء غير المشتتة (NDIR). يمكنه قياس الغازات بدقة مثل SiF4 و CF4 و SF6 و NF3 و CO2 المتولدة في تطبيقات أشباه الموصلات. إنه متوافق مع الأبعاد والإطارات وبروتوكولات الاتصال الشائعة المحددة مسبقًا داخل المعدات. يمكن استخدامه للكشف عن نقطة النهاية في عمليات ترسيب وتنظيف أشباه الموصلات ، بالإضافة إلى الكشف الطرفي لتنظيف الغرفة ، مما يساعد على تقليل وقت التنظيف وتقليل التكاليف وزيادة الإنتاج.
| المعلمة | التفاصيل |
|---|---|
| مبدأ الكشف | NDIR |
| الغازات المكتشفة | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| نطاق القياس | 1 - 264 جزء في المليون (0 - 200mTorr) |
| التكرار | ±0.5% |
| الخطية | ±1%F.S. |
| حد الكشف | 1 جزء في المليون |
أرسل استفسارك مباشرة إلينا
