مكان المنشأ:
الصين
اسم العلامة التجارية:
KACISE
إصدار الشهادات:
CE
رقم الموديل:
KGD-MQ-537
جهاز استشعار الغاز تحت الحمراء KGD - MQ - 537
مقدمة المنتج
مستشعر الغازات تحت الحمراء KGD - MQ - 537 يعتمد على تكنولوجيا الأشعة تحت الحمراء غير المنبثقة (NDIR). يمكنه قياس الغازات بدقة مثل SiF4 ، CF4 ، SF6 ، NF3 ،و CO2 المولدة في تطبيقات أشباه الموصلات. وهو متوافق مع الأبعاد المحددة مسبقًا ، والفلانجز ، وبروتوكولات الاتصال المشتركة داخل المعدات. يمكن استخدامه للكشف عن النقطة النهائية في عمليات ترسب وأساليب التنظيف في أشباه الموصلات ،وكذلك الكشف عن المحطة لتنظيف الغرفة، مما يساعد على تقليل وقت التنظيف، وخفض التكاليف، وزيادة الإنتاج.
خصائص المنتج
المعلمات التقنية
| المعلم | تفاصيل |
| مبدأ الكشف | NDIR |
| الغازات المكتشفة | SiF4، CF4، SF6، NF3، CO2 |
| نطاق القياس | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
| التكرار | ± 0.5% |
| خطية | ± 1% F.S. |
| حد الكشف | 1ppm |
أرسل استفسارك مباشرة إلينا
